Поиск по каталогу/ПХТ/Новые разработки
Кластерная установка предназначена для проведения процессов плазмохимического травления (ICP RIE) слоев металлизации для формирования элементов металлической разводки плазмохимическим травлением Al (алюминия) по фоторезистивной маске на функциональных подложках.
Диаметр пластин
—
200мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер
Поиск по каталогу/ПХТ/Новые разработки
Кластерная установка предназначена для проведения процессов плазмохимического травления поликремния для формирования элементов схемы (затворов различного типа, щелевой изоляции) плазмохимическим травлением кремния по фоторезистивной маске и жесткой маске на функциональных подложках.
Диаметр пластин
—
200мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
Нанесение пленок металлов, резистиных материалов и диэлектриков на подложки (пластины) методом магнетронного напыления и термического испарения
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
Двустороннее нанесение многокомпонентных и многослойных тонких пленок металлов и диэлектриков на подложки (пластины) методом магнетронного распыления
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Шлюзовая
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
Плазмохимическое удаление фоторезиста и очистка органических примесей на пластинах, а также стерилизация медицинских, в том числе термолабильных инструментов.
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
Многослойное нанесение пленок металлов и резистивных материалов на подложки (пластины) методом магнетронного распыления
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Шлюзовая
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
Плазмохимическое селективное (реактивно-ионное, анизотропное) травление диэлектрических и металлических слоев.
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
Многослойное нанесение пленок металлов и резистивных материалов на подложки (пластины) методом магнетронного распыления
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
Плазмохимическое селективное (реактивно-ионное, анизотропное) травление кварца, пирекса, алмазных пленок, карбида кремния и других труднотравимых диэлектрических и полупроводниковых слоев.
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических тонких пленок на рулонный материал методом магнетронного распыления.
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Нестандартное оборудование
—
Да