Фильтр
По популярности (убывание)
По популярности (убывание)
Диаметр пластин
150мм
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер
Поиск по каталогу/PVD
В наличии
Нестандартное оборудование
Да
Поиск по каталогу/Прецизионная очистка
В наличии
Диаметр пластин
до 200мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Мощность потребления номинальная
до 100 кВт
Диапазон температур
300-1150 ̊С
Расход воды
не менее 5 м3/час
Расход вытяжки
не менее 2000 м3/час
Габариты ШхВхГ
4200х2850х1300
Диапазон регулирования давления
100-1000 мбар
Поиск по каталогу/Выращивание эпитаксиальных структур
В наличии
Диаметр пластин
До 100мм
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
Ручная
Поиск по каталогу/Термическая обработка
В наличии
Диаметр пластин
300мм
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
FOUP контейнер
Поиск по каталогу/Плазмохимическое осаждение – ПХО
В наличии
Диаметр пластин
300мм
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
Ручная
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
В наличии
Диаметр пластин
100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
Диаметр пластин
200мм
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Поиск по каталогу/PVD/ПХО/ПХТ
В наличии
Нестандартное оборудование
Да
Поиск по каталогу/Прецизионная очистка
В наличии
Диаметр пластин
До 100мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Поиск по каталогу/Выращивание эпитаксиальных структур
В наличии