КЛАСТЕР ТМ-150
Создание тонких металлических пленок методом магнетронного распыления в вакууме на полупроводниковые пластины диаметром 150 мм. Установка обеспечивает создание конформных металлических пленок в окнах с большим аспектным отношением.
Подробнее
Технические характеристики
Диаметр пластин
—
150мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
КЛАСТЕР ТМ-150
Технические характеристики:
- Система предварительной очистки пластин путем термического обезгаживания;
- ВЧ-очистка в шлюзе загрузки;
- Компьютерная система управления транспортом пластин и технологическими модулями;
- Равномерность получаемых покрытий до ±3%;
- Увеличенный коэффициент использования мишени за счет использования магнетронов с вращающейся МРУ;
- Точная настройка равномерности нанесенных покрытий за счет изменения конфигурации магнитной системы, скорости ее вращения и других технологических параметров;
- Максимальная потребляемая мощность не более 60 кВт;
- ШхГхВ - 2600×2500×2500
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.
<table class="lab-table"> <tbody> <tr> <td colspan="2"> Распределение поверхностного сопротивления пленки алюминия. </td> </tr> </tbody> </table>