Кластер ТМ-150 PVD
Создание тонких металлических пленок методом магнетронного распыления в вакууме на полупроводниковые пластины диаметром 150 мм. Установка обеспечивает создание конформных металлических пленок в окнах с большим аспектным отношением.
Подробнее
Технические характеристики
Подписи к лаборатрным исследованиям
—
Распределение поверхностного сопротивления пленки алюминия
Диаметр пластин
—
150 мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Из кассеты в кассету
Габариты ШхВхГ
—
2600×2500×2500 мм
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
Кластер ТМ-150 PVD
Технические характеристики:
- Система предварительной очистки пластин путем термического обезгаживания;
- ВЧ-очистка в шлюзе загрузки;
- Компьютерная система управления транспортом пластин и технологическими модулями;
- Равномерность получаемых покрытий до ±3%;
- Увеличенный коэффициент использования мишени за счет использования магнетронов с вращающейся МРУ;
- Точная настройка равномерности нанесенных покрытий за счет изменения конфигурации магнитной системы, скорости ее вращения и других технологических параметров;
- Максимальная потребляемая мощность не более 60 кВт;
- ШхГхВ - 2600×2500×2500
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.