Диаметр пластин
100мм, 150мм, 200мм
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки и пластины методом магнетронного распыления.
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Установка нанесения металлов и их сплавов методом магнетронного распыления на поверхность диэлектрических и полупроводниковых пластин диаметром 100 мм, 150 мм и 200 мм.
Диаметр пластин
100мм, 150мм, 200мм
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Установка реактивного магнетронного осаждения оксида ванадия на кремниевые пластины, покрытые нитридом кремния на пластинах диаметром 100 мм, 150 мм, 200 мм.
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Нанесение магнетронным распылением алюминиевой (Al) металлизации, формирование адгезионных, барьерных (Ta/TaN, Ti/TiN) и зародышевых медных (Cu)слоев для перемычек в контактных и переходных отверстиях межслойных соединений и др.
Диаметр пластин
До 100мм, 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
Шлюзовая
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки и пластины методом магнетронного распыления в вертикальной плоскости.
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Тип загрузки пластин
Из кассеты в кассету
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на пластины методом магнетронного распыления.
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
Шлюзовая
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на пластины методом магнетронного распыления.
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
Шлюзовая
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на пластины методом магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения.
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки методом магнетронного распыления.
Тип загрузки пластин
Ручная
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических тонких пленок на рулонный материал методом магнетронного распыления.
Загрузить еще
1
2