ИЗОТРОН ТМ 1
Газофазное осаждение слоев нитрида и оксида кремния при пониженном давлении.
Характеристики
Классификация оборудования
—
Термическая обработка
Диаметр пластин
—
До 100мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
ИЗОТРОН ТМ 1
Технические характеристики:
- Групповая обработка до 50 пластин до Ø 100 мм;
- Кварцевый реактор с термостатируемой рабочей зоной;
- Диапазон рабочих температур 300-900°С;
- Микропроцессорная система управления;
- Рабочие газы: N₂, O₂, NH₃, SiH₄, Ar;
- Безмасляная система откачки;
- Мощность потребления не более 12 кВт;
- Возможность встраивания в чистую комнату.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.