КЛАСТЕР ТМ-200
Высокопроизводительное автоматизированное перемещение пластин диаметром 200 мм
Технические характеристики
Диаметр пластин
—
200мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
КЛАСТЕР ТМ-200
Технические характеристики:
- Транспортная камера с шестью портами;
- Четыре порта для технологических (процессорных) камер;
- Два порта для шлюзовых камер с поштучной загрузкой и выгрузкой пластин;
- Наличие вакуумного манипулятора в транспортной камере;
- Наличие атмосферного манипулятора в обеспыленном модуле и перегрузки пластин;
- Два СМИФ-контейнера с кассетами для пластин;
- Обеспыленный модуль перегрузки пластин между СМИФ-контейнерами и шлюзовыми камерами;
- Возможность дополнительного встраивания в чистую зону комплекса только СМИФ- контейнерами;
- К вакуумно-транспортной системе могут пристыковываться любые из восьми технологических (процессных) модулей установок, такие как : Магна ТМ 200-01, Магна ТМ 200-04, Плазма ТМ 200-01, Плазма ТМ 200-02, Плазма ТМ 200-03, Плазма ТМ 200-04, Изофаз ТМ 200-01, Изофаз ТМ 200-02, БТО ТМ 200-01.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.