Диаметр пластин
До 100 мм, 150 мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Нанесение пленок металлов, резистиных материалов и диэлектриков на подложки (пластины) методом магнетронного напыления и термического испарения
Диаметр пластин
до 200 мм, 300 мм
Тип загрузки пластин
SMIF-контейнер
Габариты ШхВхГ
5000×4500×2200
Промышленно-ориентированный кластерный комплекс плазмохимического травления (ICP RIE) слоев металлизации Al для пластин диаметром до 200 мм
Диаметр пластин
до 200 мм, 300 мм
Тип загрузки пластин
SMIF-контейнер
Габариты ШхВхГ
5000*4500*2200
Промышленно-ориентированный кластерный комплекс плазмохимического травления поликремния для пластин диаметром до 200 мм