БТО ТМ 200-01
3D
Отжиг ионно-легированных слоев; формирование омических контактов; получение силицидов металлов, тонких окисных и диэлектрических пленок; рекристаллизация аморфных и поликристаллических пленок и др.
Характеристики
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
—
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
БТО ТМ 200-01
Loading...
Технические характеристики:
- Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
- Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
- Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
- Многозонный ИК−нагрев пластин до температуры 1200°С;
- Максимальная скорость нагрева, не менее 100°С/с;
- Скорость охлаждения от +1200°С до +700°С, не менее 35°С/с;
- Скорость охлаждения от +700°С до +200°С, не менее 35°С/мин;
- Узел вращения пластины для повышения равномерности нагрева;
- Рабочая камера охлаждается до +16°С…+25°С;
- Безмасляная откачка в случае использования вакуума;
- Возможность встраивания в чистую комнату.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.