Разработан при поддержке
Минпромторга России
Диаметр пластин
до 200мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Габариты ШхВхГ
4200х2850х1300
Газофазное осаждение из металлоорганических соединений для эпитаксиального роста гетероструктур на основе III-N материалов для силовых приборов и СВЧ транзисторов
Диаметр пластин
До 100мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Получение эпитаксиальных ферро-гранатовых, цилиндрических магнитных доменных (ЦМД) и других структур из жидкой фазы.
Диаметр пластин
До 100мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Газофазное осаждение моно- и поликристаллических слоев кремния в широком диапазоне толщин и удельных сопротивлений на монокристаллические подложки кремния или сапфира хлоридным или хлоридно-гидридным методом.
Диаметр пластин
До 100мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Осаждение сверхтолстых поликристаллических слоев кремния из твердого источника на монокристаллические подложки кремния или сапфира.