Поиск по каталогу/Плазмохимическое осаждение – ПХО
Атомно-слоевое осаждение сверхтонких пленок.
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
—
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
Плазмохимическое травление поликристаллического кремния и нитрида кремния (мелкощелевая изоляция в кремнии).
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
—
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Поиск по каталогу/PVD/PVD
Создание тонких металлических пленок методом магнетронного распыления в вакууме на полупроводниковые пластины диаметром 150 мм. Установка обеспечивает создание конформных металлических пленок в окнах с большим аспектным отношением.
Диаметр пластин
—
150мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер
Поиск по каталогу/Прецизионная очистка
Получение высокочистых хлоридных материалов с чистотой 99,99994 методов периодической
Нестандартное оборудование
—
Да
Поиск по каталогу/Выращивание эпитаксиальных структур
Газофазное осаждение из металлоорганических соединений для эпитаксиального роста гетероструктур на основе III-N материалов для силовых приборов и СВЧ транзисторов
Диаметр пластин
—
до 200мм
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Мощность потребления номинальная
—
до 100 кВт
Диапазон температур
—
300-1150 ̊С
Расход воды
—
не менее 5 м3/час
Расход вытяжки
—
не менее 2000 м3/час
Габариты ШхВхГ
—
4200х2850х1300
Диапазон регулирования давления
—
100-1000 мбар
Поиск по каталогу/Термическая обработка
Газофазное осаждение слоев нитрида и оксида кремния при пониженном давлении.
Диаметр пластин
—
До 100мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Поиск по каталогу/Плазмохимическое осаждение – ПХО
Низкотемпературное осаждение диэлектрических слоев оксида или нитрида кремния из газовой фазы на пластинах диаметром до 300 мм.
Диаметр пластин
—
300мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
FOUP контейнер
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
Плазмохимическое травление диэлектрических (SiO₂, Si₃N₄ и другие), металлических (Al, Cr и другие), полупроводниковых и
полимерных слоев на пластинах диаметром до 300 мм.
полимерных слоев на пластинах диаметром до 300 мм.
Диаметр пластин
—
300мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки и пластины методом магнетронного распыления.
Диаметр пластин
—
100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
—
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая