Физическое нанесение (PVD)

Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)

Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на пластины методом магнетронного распыления.

Диаметр пластин — До 100мм, 150мм, 200мм

Тип загрузки пластин — Из кассеты в кассету

Связаться с нами

Задать вопрос

Физическое нанесение (PVD)

Установка реактивного магнетронного осаждения оксида ванадия на кремниевые пластины, покрытые нитридом кремния на пластинах диаметром 100 мм, 150 мм, 200 мм.

Диаметр пластин — 100мм, 150мм, 200мм

Возможность быть в составе кластера — Да

Возможность встраивания в чистую комнату — Да

Тип загрузки пластин — SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая

Связаться с нами

Задать вопрос

Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)

Нанесение магнетронным распылением алюминиевой (Al) металлизации, формирование адгезионных, барьерных (Ta/TaN, Ti/TiN) и зародышевых медных (Cu)слоев для перемычек в контактных и переходных отверстиях межслойных соединений и др.

Диаметр пластин — До 100мм, 150мм, 200мм

Возможность быть в составе кластера — Да

Возможность встраивания в чистую комнату — Да

Тип загрузки пластин — SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая

Связаться с нами

Задать вопрос

Физическое нанесение (PVD)

Установка нанесения металлов и их сплавов методом магнетронного распыления на поверхность диэлектрических и полупроводниковых пластин диаметром 100 мм, 150 мм и 200 мм.

Диаметр пластин — До 100мм, 150мм, 200мм

Возможность быть в составе кластера — Да

Возможность встраивания в чистую комнату — Да

Тип загрузки пластин — SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая

Связаться с нами

Задать вопрос