МАГНА ТМ 22
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки и пластины методом магнетронного распыления в вертикальной плоскости.
Характеристики
Классификация оборудования
—
Физическое нанесение
Диаметр пластин
—
До 100мм, 100мм, 150мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Шлюзовая
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
МАГНА ТМ 22
Технические характеристики:
- Индивидуальная и групповая обработка подложек или пластин на рабочем столе в одном технологическом цикле: 60х48мм, Ø 76мм, Ø 100мм, Ø 150мм;
- Мультикатодное МРУ с четырьмя мишенями Ø 76мм;
- Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек или пластин;
- Планетарный двухстепенной держатель;
- Предварительный нагрев пластин и их очистка ионным источником;
- Нанесение пленок из одной, двух, трех, четырех мишеней;
- Безмасляная система откачки;
- Мощность потребления не более 20 кВт;
- Возможность встраивания в чистую комнату.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.