МАГНА ТМ 7

Связаться с нами

Возможны дополнительные опции

Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки методом магнетронного распыления.

Подробнее

Технические характеристики

Классификация оборудования

—

Физическое нанесение

Диаметр пластин

—

До 100мм, 150мм

Тип загрузки пластин

—

Ручная

Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах

Групповая обработка подложек или пластин в одном технологическом цикле: 60х48мм, Ø 76мм, Ø 100мм, Ø 150мм;
Количество МРУ в установке - 2 шт.;
Предварительный нагрев и очистка ионным источником;
Контроль толщины резистивной пленки по сопротивлению
в процессе;
Количество ионных источников - 1 шт.;
Безмасляная система откачки;
Мощность потребления не более 9 кВт.

Гарантийное и постгарантийное обслуживание;

Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.