МАГНА ТМ 7
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки методом магнетронного распыления.
Характеристики
Классификация оборудования
—
Физическое нанесение
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
МАГНА ТМ 7
Технические характеристики:
- Групповая обработка подложек или пластин в одном технологическом цикле: 60х48мм, Ø 76мм, Ø 100мм, Ø 150мм;
- Количество МРУ в установке - 2 шт.;
- Предварительный нагрев и очистка ионным источником;
- Контроль толщины резистивной пленки по сопротивлению
- в процессе;
- Количество ионных источников - 1 шт.;
- Безмасляная система откачки;
- Мощность потребления не более 9 кВт.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.