Диаметр пластин
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Многослойное нанесение пленок металлов и резистивных материалов на подложки (пластины) методом магнетронного распыления
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Тип загрузки пластин
Шлюзовая
Многослойное нанесение пленок металлов и резистивных материалов на подложки (пластины) методом магнетронного распыления
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Тип загрузки пластин
Шлюзовая
Двустороннее нанесение многокомпонентных и многослойных тонких пленок металлов и диэлектриков на подложки (пластины) методом магнетронного распыления
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Нанесение пленок металлов, резистиных материалов и диэлектриков на подложки (пластины) методом магнетронного напыления и термического испарения
Диаметр пластин
100мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Вакуумная установка электронно-лучевого испарения предназначена для нанесения металлических плёнок на полупроводниковые пластины
1
2