МАГНА ТМ 200-04
Нанесение магнетронным распылением алюминиевой (Al) металлизации, формирование адгезионных, барьерных (Ta/TaN, Ti/TiN) и зародышевых медных (Cu)слоев для перемычек в контактных и переходных отверстиях межслойных соединений и др.
Технические характеристики
Классификация оборудования
—
Физическое нанесение
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
—
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
МАГНА ТМ 200-04
Технические характеристики:
- Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
- Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
- Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
- ВЧ рабочий стол с вертикальным перемещением, поддержкой температуры в диапазоне -20…+250°C, подачей аргона под пластину и прижимом;
- Магнетронное распылительное устройство с вращающимся магнитным блоком;
- Предусмотрен режим нанесения пленок из мишени Ø 300мм в импульсном режиме при мощности до 20 кВт для заполнения глубоких канавок и щелей в изделиях;
- Механическая заслонка для защиты рабочей поверхности пластины;
- Система прогрева стенок рабочей камеры до +120°С;
- Сменные экраны для предотвращения запыления рабочей камеры;
- Скорость нанесения Сu, не менее 5 нм/с, TiN, не менее 2 нм/с;
- Возможность встраивания в чистую комнату.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.