МАГНА ТМ 29
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на пластины методом магнетронного распыления.
Технические характеристики
Классификация оборудования
—
Физическое нанесение
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм, 200мм
Тип загрузки пластин
—
Из кассеты в кассету
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
МАГНА ТМ 29
Технические характеристики:
- Групповая обработка пластин: Ø76мм, Ø 100мм, Ø150мм;
- Две шлюзовые камеры для загрузки – выгрузки пластин из кассеты в кассету;
- Конвейерная система непрерывного транспортирования пластин;
- Предварительный нагрев пластин и их очистка ионным источником;
- Безмасляная система откачки;
- Мощность потребления не более 25 кВт.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.