ЭЛИМ ТМ 5
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на пластины методом магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения.
Технические характеристики
Классификация оборудования
—
Физическое нанесение
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
—
Шлюзовая
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
ЭЛИМ ТМ 5
Технические характеристики:
- Групповая обработка пластин в одном технологическом цикле:Ø 76мм – 15 шт.; Ø 100мм – 9 шт.; Ø 150мм – 3 шт.;
- Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки пластин (Позиция 1);
- Система переноса пластин из шлюзовой камеры в две рабочие позиции (2,3) транспортной каруселью;
- Четырехтигельный электронно-лучевой испаритель (Позиция 3);
- МРУ с мишенью Ø280мм (Позиция 4);
- Предварительный нагрев пластин и их очистка с помощью ионного источника (Позиция 2);
- Безмасляная система откачки;
- Мощность потребления не более 20 кВт.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.
<table class="lab-table"> <tbody> <tr> <td colspan="2"> Распределение поверхностного сопротивления пленки алюминия. </td> </tr> <tr> <td colspan="2"> Величина 1Sigma имеет значение 1,25, что свидетельствует о высокой равномерности покрытия. </td> </tr> </tbody> </table>