МВУ ТМ МАГНА 07,08
Многослойное нанесение пленок металлов и резистивных материалов на подложки (пластины) методом магнетронного распыления
Характеристики
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
МВУ ТМ МАГНА 07,08
Технические характеристики:
- Тип и количество МРУ в установке: Магна 07, постоянного тока – 3 шт.;
- Магна 08, постоянного тока – 2 шт., ВЧ – 1 шт.;
- Групповая обработка в одном технологическом цикле (односторонняя обработка пластин): Ø100 мм – 4 шт., Ø150 мм – 2 шт.;
- (двусторонняя обработка подложек): 60х48 – 6 шт.;
- Микропроцессорная система управления;
- Безмасляная система откачки;
- Мощность потребления не более 4,5 кВТ.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.