МВУ ТМ МАГНА 07,08

Связаться с нами

Возможны дополнительные опции

Многослойное нанесение пленок металлов и резистивных материалов на подложки (пластины) методом магнетронного распыления

Подробнее

Технические характеристики

Классификация оборудования

—

Физическое нанесение

Диаметр пластин

—

До 100мм, 150мм

Тип загрузки пластин

—

Ручная

Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах

Тип и количество МРУ в установке: Магна 07, постоянного тока – 3 шт.;
Магна 08, постоянного тока – 2 шт., ВЧ – 1 шт.;
Групповая обработка в одном технологическом цикле (односторонняя обработка пластин): Ø100 мм – 4 шт., Ø150 мм – 2 шт.;
(двусторонняя обработка подложек): 60х48 – 6 шт.;
Микропроцессорная система управления;
Безмасляная система откачки;
Мощность потребления не более 4,5 кВТ.

Гарантийное и постгарантийное обслуживание;

Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.