Разработан при поддержке
Минпромторга России
Диаметр пластин
До 100 мм, 150 мм, 200 мм
Тип загрузки пластин
SMIF-контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Отжиг ионно-легированных слоев; формирование омических контактов; получение силицидов металлов, тонких окисных и диэлектрических пленок; рекристаллизация аморфных и поликристаллических пленок и др.
Разработан при поддержке
Минпромторга России
Диаметр пластин
76 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм
Тип загрузки пластин
SMIF-контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Атомно-слоевое осаждение сверхтонких пленок.
Разработан при поддержке
Минпромторга России
Диаметр пластин
76 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм
Тип загрузки пластин
SMIF-контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Габариты ШхВхГ
1900х2850х2000
Плазмохимическое травление поликристаллического кремния и нитрида кремния (мелкощелевая изоляция в кремнии).
Автоматизированная очистка кислот HCl, H₂SO₄ и HNO₃ методом дистилляции без кипения (субперегонкой) в кварцевом аппарате, и очистки указанных кислот от тяжелых примесей (K, Na, Ca, Mg, Al)
Диаметр пластин
До 100 мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Газофазное осаждение моно- и поликристаллических слоев кремния в широком диапазоне толщин и удельных сопротивлений на монокристаллические подложки кремния или сапфира хлоридным или хлоридно-гидридным методом.
Диаметр пластин
До 100 мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Автоматизированная термическая обработка пластин и материалов (отжиг, сушка, разгонка диффузанта, восстановление кристаллических структур и др.) при нормальном давлении в восстановительной или нейтральной среде.
Разработан при поддержке
Минпромторга России
Диаметр пластин
76 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм
Тип загрузки пластин
SMIF-контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Установка плазмохимического осаждения диэлектрических слоев
Разработан при поддержке
Минпромторга России
Диаметр пластин
До 100 мм, 150 мм, 200 мм
Установка плазмохимического травления с источником индуктивно-связанной плазмы на базе Bosch-процесса
Разработан при поддержке
Минпромторга России
Диаметр пластин
До 100 мм, 150 мм, 200 мм
Тип загрузки пластин
SMIF-контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Нанесение магнетронным распылением алюминиевой (Al) металлизации, формирование адгезионных, барьерных (Ta/TaN, Ti/TiN) и зародышевых медных (Cu)слоев для перемычек в контактных и переходных отверстиях межслойных соединений и др.
Автоматизированная очистка кислот HCl, H₂SO₄ и HNO₃ методом дистилляции без кипения (субперегонкой) в кварцевом аппарате, и очистки указанных кислот от тяжелых примесей (K, Na, Ca, Mg, Al)