Изофаз ТМ 200-01

Получить PDF Связаться с нами

Возможны дополнительные опции

Атомно-слоевое осаждение сверхтонких пленок.

Подробнее

Технические характеристики

Классификация оборудования

—

Плазмохимическое осаждение

Диаметр пластин

—

76 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм

Возможность быть в составе кластера

—

Да

Возможность встраивания в чистую комнату

—

Да

Тип загрузки пластин

—

SMIF-контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая

Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах

Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек или пластин;
Осаждение в термическом режиме с удаленным ICP источником плазмы;
Порты для подключения ампул с прекурсором:
с высоким давлением насыщенных паров - 2шт.;
с низким давлением насыщенных паров - 2шт.(опционально до 4 шт.);
Мощность потребления не более 14 кВт;
Безмасляная система откачки;
Возможность встраивания в чистую комнату.

Гарантийное и постгарантийное обслуживание;

Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.