Диаметр пластин
200 мм
Тип загрузки пластин
SMIF-контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Высокопроизводительное автоматизированное перемещение пластин диаметром 200 мм
Разработан при поддержке
Минпромторга России,
совместно с АО «НИИМЭ»
совместно с АО «НИИМЭ»
Диаметр пластин
200 мм, 300 мм
Тип загрузки пластин
FOUP-контейнер, SMIF-контейнер
Промышленно-ориентированный кластерный комплекс плазмохимического травления для технологий уровня до 65 нм
Диаметр пластин
до 200 мм, 300 мм
Тип загрузки пластин
SMIF-контейнер
Габариты ШхВхГ
5000×4500×2200
Промышленно-ориентированный кластерный комплекс плазмохимического травления (ICP RIE) слоев металлизации Al для пластин диаметром до 200 мм
Диаметр пластин
до 200 мм, 300 мм
Тип загрузки пластин
SMIF-контейнер
Габариты ШхВхГ
5000*4500*2200
Промышленно-ориентированный кластерный комплекс плазмохимического травления поликремния для пластин диаметром до 200 мм