МВУ ТМ МАГНА ТИС 02
Нанесение пленок металлов, резистиных материалов и диэлектриков на подложки (пластины) методом магнетронного напыления и термического испарения
Технические характеристики
Классификация оборудования
—
Физическое нанесение
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
МВУ ТМ МАГНА ТИС 02
Групповая обработка в одном технологическом цикле (односторонняя обработка пластин): Ø100 мм – 4 шт., Ø150 мм – 2 шт.;
(двусторонняя обработка подложек): 60х48 – 6 шт.;
Периодический поворот держателя на 90°;
Предварительный нагрев и очистка с помощью ионного источника подложек или пластин;
МРУ постоянного тока или ВЧ – 2 шт.;
Испаритель мощностью не более 900 Вт – 1 шт.;
Микропроцессорная система управления;
Безмасляная система откачки;
Мощность потребления не более 4,5 кВТ.
(двусторонняя обработка подложек): 60х48 – 6 шт.;
Периодический поворот держателя на 90°;
Предварительный нагрев и очистка с помощью ионного источника подложек или пластин;
МРУ постоянного тока или ВЧ – 2 шт.;
Испаритель мощностью не более 900 Вт – 1 шт.;
Микропроцессорная система управления;
Безмасляная система откачки;
Мощность потребления не более 4,5 кВТ.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.