МВУ ТМ МАГНА 09

Связаться с нами

Возможны дополнительные опции

Многослойное нанесение пленок металлов и резистивных материалов на подложки (пластины) методом магнетронного распыления

Подробнее

Технические характеристики

Классификация оборудования

—

Физическое нанесение

Диаметр пластин

—

До 100мм, 150мм, 200мм

Возможность встраивания в чистую комнату

—

Да

Тип загрузки пластин

—

Шлюзовая

Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах

Индивидуальная односторонняя обработка на рабочем столе: пластин Ø 100мм, Ø 150мм, Ø 200мм – 1 шт., подложек 60х48 – 5 шт.; МРУ с тремя мишенями Ø 100мм;
Транспортная система переноса подложек или пластин из шлюзовой камеры в рабочую камеру;
Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки пластин или подложек;
Нанесение диэлектрических слоев в ВЧ режиме, нанесение металлических слоев в режиме постоянного тока;
Предварительный нагрев и очистка в плазме ВЧ разряда подложек или пластин;
Безмасляная система откачки;
Мощность потребления не более 14 кВт;
Возможность встраивания в чистую комнату.

Гарантийное и постгарантийное обслуживание;

Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.