МВУ ТМ МАГНА 09
Многослойное нанесение пленок металлов и резистивных материалов на подложки (пластины) методом магнетронного распыления
Технические характеристики
Классификация оборудования
—
Физическое нанесение
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Шлюзовая
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
МВУ ТМ МАГНА 09
Технические характеристики:
- Индивидуальная односторонняя обработка на рабочем столе: пластин Ø 100мм, Ø 150мм, Ø 200мм – 1 шт., подложек 60х48 – 5 шт.; МРУ с тремя мишенями Ø 100мм;
- Транспортная система переноса подложек или пластин из шлюзовой камеры в рабочую камеру;
- Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки пластин или подложек;
- Нанесение диэлектрических слоев в ВЧ режиме, нанесение металлических слоев в режиме постоянного тока;
- Предварительный нагрев и очистка в плазме ВЧ разряда подложек или пластин;
- Безмасляная система откачки;
- Мощность потребления не более 14 кВт;
- Возможность встраивания в чистую комнату.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.