+7(495)229-75-01
+7(495)229-75-01 - Приемная
+7(499)735-13-69 - Отдел маркетинга
+7(495)229-75-14 - Отдел закупок
Свяжитесь с нами
E-mail
info@niitm.ru
marketing@niitm.ru
job@niitm.ru
Адрес
г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
Режим работы
Пн - Чт: 08:30 - 17:30
Пт: 08:30 - 16:15
Свяжитесь с нами
О компании
  • История развития
  • Реквизиты
  • Закупки
Оборудование
  • Классификация оборудования
    • Плазмохимическое травление – ПХТ
    • Плазмохимическое осаждение – ПХО
    • Физическое нанесение (PVD)
    • Выращивание эпитаксиальных структур
    • Термическая обработка
    • Прецизионная очистка
  • Кластерное оборудование
    • PVD
    • ПХО
    • ПХТ
  • Новые разработки
  • Поиск по каталогу
Технологии
Карьера
Пресс-центр
Контакты
г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
+7(495)229-75-01
+7(495)229-75-01 - Приемная
+7(499)735-13-69 - Отдел маркетинга
+7(495)229-75-14 - Отдел закупок
Свяжитесь с нами
E-mail
info@niitm.ru
marketing@niitm.ru
job@niitm.ru
Адрес
г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
Режим работы
Пн - Чт: 08:30 - 17:30
Пт: 08:30 - 16:15
О компании
  • История развития
  • Реквизиты
  • Закупки
Оборудование
  • Классификация оборудования
    Классификация оборудования
    • Плазмохимическое травление – ПХТ
    • Плазмохимическое осаждение – ПХО
    • Физическое нанесение (PVD)
    • Выращивание эпитаксиальных структур
    • Термическая обработка
    • Прецизионная очистка
  • Кластерное оборудование
    Кластерное оборудование
    • PVD
    • ПХО
    • ПХТ
  • Новые разработки
    Новые разработки
  • Поиск по каталогу
    Поиск по каталогу
Технологии
Карьера
Пресс-центр
Контакты
    О компании
    • История развития
    • Реквизиты
    • Закупки
    Оборудование
    • Классификация оборудования
      Классификация оборудования
      • Плазмохимическое травление – ПХТ
      • Плазмохимическое осаждение – ПХО
      • Физическое нанесение (PVD)
      • Выращивание эпитаксиальных структур
      • Термическая обработка
      • Прецизионная очистка
    • Кластерное оборудование
      Кластерное оборудование
      • PVD
      • ПХО
      • ПХТ
    • Новые разработки
      Новые разработки
    • Поиск по каталогу
      Поиск по каталогу
    Технологии
    Карьера
    Пресс-центр
    Контакты
      +7(495)229-75-01 - Приемная
      +7(499)735-13-69 - Отдел маркетинга
      +7(495)229-75-14 - Отдел закупок
      Свяжитесь с нами
      E-mail
      info@niitm.ru
      marketing@niitm.ru
      job@niitm.ru
      Адрес
      г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
      Режим работы
      Пн - Чт: 08:30 - 17:30
      Пт: 08:30 - 16:15
      Телефоны
      +7(495)229-75-01 - Приемная
      +7(499)735-13-69 - Отдел маркетинга
      +7(495)229-75-14 - Отдел закупок
      Свяжитесь с нами
      • О компании
        • О компании
        • История развития
        • Реквизиты
        • Закупки
      • Оборудование
        • Оборудование
        • Классификация оборудования
          • Классификация оборудования
          • Плазмохимическое травление – ПХТ
          • Плазмохимическое осаждение – ПХО
          • Физическое нанесение (PVD)
          • Выращивание эпитаксиальных структур
          • Термическая обработка
          • Прецизионная очистка
        • Кластерное оборудование
          • Кластерное оборудование
          • PVD
          • ПХО
          • ПХТ
        • Новые разработки
        • Поиск по каталогу
      • Технологии
      • Карьера
      • Пресс-центр
      • Контакты
      Свяжитесь с нами
      • +7(495)229-75-01 Приемная
        • Телефоны
        • +7(495)229-75-01 Приемная
        • +7(499)735-13-69 Отдел маркетинга
        • +7(495)229-75-14 Отдел закупок
        • Заказать звонок
      • г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
      • info@niitm.ru
        marketing@niitm.ru
        job@niitm.ru
      • Пн - Чт: 08:30 - 17:30
        Пт: 08:30 - 16:15

      Магна ТМ 200-02

      Главная
      —
      Продукты
      —
      Классификация оборудования
      —
      Физическое нанесение (PVD)
      —Магна ТМ 200-02
      Магна ТМ 200-02
      В наличии
      Связаться с нами
      Задать вопрос
      Возможны дополнительные опции
      Магна ТМ 200-02

      Установка нанесения металлов и их сплавов методом магнетронного распыления на поверхность диэлектрических и полупроводниковых пластин диаметром 100 мм, 150 мм и 200 мм.

      Подробнее
      Технические характеристики
      Классификация оборудования
      —
      Физическое нанесение
      Диаметр пластин
      —
      До 100мм, 150мм, 200мм
      Возможность быть в составе кластера
      —
      Да
      Возможность встраивания в чистую комнату
      —
      Да
      Тип загрузки пластин
      —
      SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
      Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
      Магна ТМ 200-02
      В наличии
      Связаться с нами
      Задать вопрос
      Возможны дополнительные опции
      • Описание
      • Дополнительно

      Технические характеристики:

      • Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
      • Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
      • Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
      • Мультикатодные МРУ с двумя мишенями Ø 100мм и источником для очистки пластин;
      • Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек или пластин;
      • Рабочий стол работает в широком диапазоне температур -20 0C ÷ +400 0C и для перехода из отрицательных температур в положительные реализована автоматизированная система продувки каналов стола от охлаждающей жидкости;
      • Рабочий стол может подниматься, опускаться, меняя расстояние от мишени до подложки, имеет функцию вращения и подачи ВЧ-смещения на подложку. Для поддержания требуемой температуры реализована подача аргона под пластину. Пластина закрепляется механическим прижимом.
      • Проведение напыления при рабочем давлении, регулируемом в диапазоне 0,5 ÷ 50 Па;
      • Неоднородность толщины формируемых слоев на диаметре 100 мм: не более 5%;
      • Неоднородность толщины формируемых слоев на диаметре 200 мм: не более 7%;;
      • Газовая система имеет:
        1. 4 линии подачи газа:
        2. 2 линии Ar в камеру – рабочий газ (вторая линия требуется для проведения процессов при повышенном давлении газа (≈ 50 Па).
        3. 1 линия Ar под пластину для равномерного поддержания температуры.
        4. 1 линия N2 – сервисный газ для напуска в камеру.
      • Установка полностью автоматизирована, есть возможность создания технологических рецептов;
      • Потребляемая мощность: не более 28,2 КВт;
      • Диапазон давления сжатого воздуха на входе в установку: 4-6 атм;
      • Диапазон давления азота на входе в установку: 2,5-6 атм;
      • Возможность встраивания в чистую комнату;

      Гарантийное и постгарантийное обслуживание;

      Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.

      Назад к списку
      Компания
      История развития
      Реквизиты
      Закупки
      Оборудование
      Классификация оборудования
      Кластерное оборудование
      Новые разработки
      Поиск по каталогу
      Контакты
      Горячая линия ГК «Элемент»
      Информация о правообладателе
      +7(495)229-75-01
      +7(495)229-75-01 - Приемная
      +7(499)735-13-69 - Отдел маркетинга
      +7(495)229-75-14 - Отдел закупок
      Свяжитесь с нами
      E-mail
      info@niitm.ru
      marketing@niitm.ru
      job@niitm.ru
      Адрес
      г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
      Режим работы
      Пн - Чт: 08:30 - 17:30
      Пт: 08:30 - 16:15
      info@niitm.ru
      marketing@niitm.ru
      job@niitm.ru
      г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
      © 2025 niitm.ru
      Политика конфиденциальности