Магна ТМ 200-02

Технические характеристики:

• Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
• Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
• Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
• Мультикатодные МРУ с двумя мишенями Ø 100мм и источником для очистки пластин;
• Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек или пластин;
• Рабочий стол работает в широком диапазоне температур -20 0C ÷ +400 0C и для перехода из отрицательных температур в положительные реализована автоматизированная система продувки каналов стола от охлаждающей жидкости;
• Рабочий стол может подниматься, опускаться, меняя расстояние от мишени до подложки, имеет функцию вращения и подачи ВЧ-смещения на подложку. Для поддержания требуемой температуры реализована подача аргона под пластину. Пластина закрепляется механическим прижимом.
• Проведение напыления при рабочем давлении, регулируемом в диапазоне 0,5 ÷ 50 Па;
• Неоднородность толщины формируемых слоев на диаметре 100 мм: не более 5%;
• Неоднородность толщины формируемых слоев на диаметре 200 мм: не более 7%;;
• Газовая система имеет:
  1. 4 линии подачи газа:
  2. 2 линии Ar в камеру – рабочий газ (вторая линия требуется для проведения процессов при повышенном давлении газа (≈ 50 Па).
  3. 1 линия Ar под пластину для равномерного поддержания температуры.
  4. 1 линия N2 – сервисный газ для напуска в камеру.
• Установка полностью автоматизирована, есть возможность создания технологических рецептов;
• Потребляемая мощность: не более 28,2 КВт;
• Диапазон давления сжатого воздуха на входе в установку: 4-6 атм;
• Диапазон давления азота на входе в установку: 2,5-6 атм;
• Возможность встраивания в чистую комнату;