Магна ТМ 200-03

Технические характеристики:

• Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
• Загрузка и выгрузка пластин через шлюзовую камеру с помощью манипулятора;
• Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
• Предельное давление не выше 9х10-6 Па, скорость натекания не выше 10-4 Па*л/сек;
• Проведение технологических процессов с использованием следующих рабочих газов – Ar, O2, He, N2: He – подаётся под пластину, N2 – сервисный, а нерабочий, для напуска, Ar и O2 – рабочие газы, точность поддержания расхода газов не более ±1% от заданного значения;
• Термостабилизация обрабатываемых пластин в процессе осаждения в диапазоне температур 150-300оC с точностью ±1% относительно заданной температуры и разброс температуры по пластине не более ±5% от заданного значения в °C;
• Вращение подложки в процессе осаждения со скоростью 1 – 20 об/мин;
• Покрытие оксида ванадия имеет следующие характеристики:
  1. скорость осаждения покрытия не менее 4 нм/мин;
  2. подача газов осуществляется с помощью РРГ с точностью – 1,5 %;
  3. диапазон поверхностного сопротивления 100-300 кОм/□;
  4. интервал наносимых толщин 60 –250 нм..
• Наличие в установке масс- спектрометра;
• Газовая система обеспечивает возможность подачи в рабочую камеру 3 следующих газов: Ar, O2, He. Состоит из 3-х независимых газовых линий, снабженных регуляторами расхода газа и системой клапанов;
• Гибкая система управления, позволяющая создавать, менять технологические режимы осаждения. Работа установки полностью автоматизирована;
• Безмасляная система откачки;
• Возможность встраивания в чистую комнату;