ОТЖИГ ТМ-5
Установка предназначена для автоматизированной термической обработки полупроводниковых пластин, керамических подложек и материалов в контролируемой среде рабочего газа (восстановительной, нейтральной) при пониженном давлении.
Характеристики
Диаметр пластин
—
до 200мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
ОТЖИГ ТМ-5
Технические характеристики:
- Обработка пластин: Ø 76, 100, 150, 200мм;
- Внутренний диаметр реактора: 130 мм;
- Длина рабочей зоны реактора: 250 мм;
- Количество одновременно обрабатываемых пластин: до 25 шт.;
- Диапазон рабочих температур: 300-700 °С;
- Нестабильность температуры в рабочей зоне ± 1 °С в установленным режиме;
- Время разогрева с н/у до 700 °С не более 40 мин.;
- Время охлаждения с 700 °С до 60 °С не более 60 мин.;
- Предельное остаточное давление в реакторе не более 3 Па;
- Рабочее давление от 10 до 150 Па;
- Рабочие газы: H2, N2;
- Расход воды не более 0,4 м3/час
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.