+7(495)229-75-01
+7(495)229-75-01 - Приемная
+7(499)735-13-69 - Отдел маркетинга
+7(495)229-75-14 - Отдел закупок
Свяжитесь с нами
E-mail
info@niitm.ru
marketing@niitm.ru
job@niitm.ru
Адрес
г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
Режим работы
Пн - Чт: 08:30 - 17:30
Пт: 08:30 - 16:15
Свяжитесь с нами
О компании
  • История развития
  • Реквизиты
  • Закупки
Оборудование
  • Классификация оборудования
    • Плазмохимическое травление – ПХТ
    • Плазмохимическое осаждение – ПХО
    • Физическое нанесение (PVD)
    • Выращивание эпитаксиальных структур
    • Термическая обработка
    • Прецизионная очистка
  • Кластерное оборудование
    • PVD
    • ПХО
    • ПХТ
  • Новые разработки
  • Поиск по каталогу
Технологии
Карьера
Пресс-центр
Контакты
г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
+7(495)229-75-01
+7(495)229-75-01 - Приемная
+7(499)735-13-69 - Отдел маркетинга
+7(495)229-75-14 - Отдел закупок
Свяжитесь с нами
E-mail
info@niitm.ru
marketing@niitm.ru
job@niitm.ru
Адрес
г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
Режим работы
Пн - Чт: 08:30 - 17:30
Пт: 08:30 - 16:15
О компании
  • История развития
  • Реквизиты
  • Закупки
Оборудование
  • Классификация оборудования
    Классификация оборудования
    • Плазмохимическое травление – ПХТ
    • Плазмохимическое осаждение – ПХО
    • Физическое нанесение (PVD)
    • Выращивание эпитаксиальных структур
    • Термическая обработка
    • Прецизионная очистка
  • Кластерное оборудование
    Кластерное оборудование
    • PVD
    • ПХО
    • ПХТ
  • Новые разработки
    Новые разработки
  • Поиск по каталогу
    Поиск по каталогу
Технологии
Карьера
Пресс-центр
Контакты
    О компании
    • История развития
    • Реквизиты
    • Закупки
    Оборудование
    • Классификация оборудования
      Классификация оборудования
      • Плазмохимическое травление – ПХТ
      • Плазмохимическое осаждение – ПХО
      • Физическое нанесение (PVD)
      • Выращивание эпитаксиальных структур
      • Термическая обработка
      • Прецизионная очистка
    • Кластерное оборудование
      Кластерное оборудование
      • PVD
      • ПХО
      • ПХТ
    • Новые разработки
      Новые разработки
    • Поиск по каталогу
      Поиск по каталогу
    Технологии
    Карьера
    Пресс-центр
    Контакты
      +7(495)229-75-01 - Приемная
      +7(499)735-13-69 - Отдел маркетинга
      +7(495)229-75-14 - Отдел закупок
      Свяжитесь с нами
      E-mail
      info@niitm.ru
      marketing@niitm.ru
      job@niitm.ru
      Адрес
      г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
      Режим работы
      Пн - Чт: 08:30 - 17:30
      Пт: 08:30 - 16:15
      Телефоны
      +7(495)229-75-01 - Приемная
      +7(499)735-13-69 - Отдел маркетинга
      +7(495)229-75-14 - Отдел закупок
      Свяжитесь с нами
      • О компании
        • О компании
        • История развития
        • Реквизиты
        • Закупки
      • Оборудование
        • Оборудование
        • Классификация оборудования
          • Классификация оборудования
          • Плазмохимическое травление – ПХТ
          • Плазмохимическое осаждение – ПХО
          • Физическое нанесение (PVD)
          • Выращивание эпитаксиальных структур
          • Термическая обработка
          • Прецизионная очистка
        • Кластерное оборудование
          • Кластерное оборудование
          • PVD
          • ПХО
          • ПХТ
        • Новые разработки
        • Поиск по каталогу
      • Технологии
      • Карьера
      • Пресс-центр
      • Контакты
      Свяжитесь с нами
      • +7(495)229-75-01 Приемная
        • Телефоны
        • +7(495)229-75-01 Приемная
        • +7(499)735-13-69 Отдел маркетинга
        • +7(495)229-75-14 Отдел закупок
        • Заказать звонок
      • г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
      • info@niitm.ru
        marketing@niitm.ru
        job@niitm.ru
      • Пн - Чт: 08:30 - 17:30
        Пт: 08:30 - 16:15

      ПЛАЗМА ТМ 8

      Главная
      —
      Продукты
      —
      Поиск по каталогу
      —ПЛАЗМА ТМ 8
      ПЛАЗМА ТМ 8
      В наличии
      Связаться с нами
      Задать вопрос
      Возможны дополнительные опции
      ПЛАЗМА ТМ 8
      ПЛАЗМА ТМ 8
      ПЛАЗМА ТМ 8
      ПЛАЗМА ТМ 8
      ПЛАЗМА ТМ 8
      ПЛАЗМА ТМ 8

      Реактивно-ионное травление алюминиевой металлизации в хлорсодержащей плазме, а также тонких металлических слоев, диэлектрических слоев, материалов группы А3B5.

      Подробнее
      Технические характеристики
      Классификация оборудования
      —
      Плазмохимическое травление
      Диаметр пластин
      —
      До 100мм, 150мм
      Возможность встраивания в чистую комнату
      —
      Да
      Тип загрузки пластин
      —
      Из кассеты в кассету
      Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
      ПЛАЗМА ТМ 8
      В наличии
      Связаться с нами
      Задать вопрос
      Возможны дополнительные опции
      • Описание
      • Дополнительно

      Технические характеристики:

      • Индивидуальная обработка пластин Ø76, 100 или 150 мм на рабочем столе в одном технологическом цикле;
      • Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки пластин из кассеты в кассету;
      • Транспортная система переноса носителя из шлюзовой камеры в реактор на основе манипулятора;
      • Скорость травления Al 3000-5000 Å в минуту;
      • Рабочие газы: Cl, BCl3, He и другие;
      • Мощность потребления не более 12 кВт;
      • Безмасляная система откачки;
      • Возможность встраивания в чистую комнату.
      • Измерение напряжения на ВЧ рабочем столе в диапазоне от 0 до 1000 В;
      • Регулирование и автоматическое поддержание мощности ВЧ рабочего стола в диапазоне 50-400 Вт.

      Гарантийное и постгарантийное обслуживание;

      Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.

      Назад к списку
      Компания
      История развития
      Реквизиты
      Закупки
      Оборудование
      Классификация оборудования
      Кластерное оборудование
      Новые разработки
      Поиск по каталогу
      Контакты
      Горячая линия ГК «Элемент»
      Информация о правообладателе
      +7(495)229-75-01
      +7(495)229-75-01 - Приемная
      +7(499)735-13-69 - Отдел маркетинга
      +7(495)229-75-14 - Отдел закупок
      Свяжитесь с нами
      E-mail
      info@niitm.ru
      marketing@niitm.ru
      job@niitm.ru
      Адрес
      г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
      Режим работы
      Пн - Чт: 08:30 - 17:30
      Пт: 08:30 - 16:15
      info@niitm.ru
      marketing@niitm.ru
      job@niitm.ru
      г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
      © 2025 niitm.ru
      Политика конфиденциальности