ПЛАЗМА ТМ 8
Реактивно-ионное травление алюминиевой металлизации в хлорсодержащей плазме, а также тонких металлических слоев, диэлектрических слоев, материалов группы А3B5.
Технические характеристики
Классификация оборудования
—
Плазмохимическое травление
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Из кассеты в кассету
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
ПЛАЗМА ТМ 8
Технические характеристики:
- Индивидуальная обработка пластин Ø76, 100 или 150 мм на рабочем столе в одном технологическом цикле;
- Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки пластин из кассеты в кассету;
- Транспортная система переноса носителя из шлюзовой камеры в реактор на основе манипулятора;
- Скорость травления Al 3000-5000 Å в минуту;
- Рабочие газы: Cl, BCl3, He и другие;
- Мощность потребления не более 12 кВт;
- Безмасляная система откачки;
- Возможность встраивания в чистую комнату.
- Измерение напряжения на ВЧ рабочем столе в диапазоне от 0 до 1000 В;
- Регулирование и автоматическое поддержание мощности ВЧ рабочего стола в диапазоне 50-400 Вт.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.