Плазма ТМ 200-03

Получить PDF Связаться с нами

Возможны дополнительные опции

Установка плазмохимического травления органических полимеров и удаления фоторезистивной маски.

Подробнее

Технические характеристики

Классификация оборудования

—

Плазмохимическое травление

Диаметр пластин

—

76 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм

Возможность быть в составе кластера

—

Да

Возможность встраивания в чистую комнату

—

Да

Тип загрузки пластин

—

SMIF-контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая

Габариты ШхВхГ

—

1900х2850х2000

Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах

Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
Нагреваемый рабочий стол до 250°С;
Удаленный источник СВЧ плазмы для травления радикалами;
Рабочие газы: He, SF6, C4F8, O2, Ar и другие;
Мощность потребления не более 15,5 кВт;
Безмасляная система откачки;
Возможность встраивания в чистую комнату.

Гарантийное и постгарантийное обслуживание;

Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.