ОТЖИГ ТМ 4М
Автоматизированная термическая обработка пластин и материалов (отжиг, сушка, разгонка диффузанта, восстановление кристаллических структур и др.) при нормальном давлении в окислительной или нейтральной среде.
Характеристики
Классификация оборудования
—
Термическая обработка
Диаметр пластин
—
До 100мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
ОТЖИГ ТМ 4М
Технические характеристики:
- Групповая обработка 120 пластин до Ø 100 мм;
- Кварцевый реактор с термостатируемой рабочей зоной 700 мм;
- Диапазон рабочих температур 300-1100°С;
- Рабочие газы: Ar, О₂, N₂;
- Микропроцессорная система управления;
- Мощность потребления не более 15 кВт;
- Возможность встраивания в чистую комнату.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.