МАГНА ТМ 200-01
по запросу
Нанесение многокомпонентных и многослойных металлических или диэлектрических тонких пленок на подложки и пластины методом магнетронного распыления.
Характеристики
Диаметр пластин
—
100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
—
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
МАГНА ТМ 200-01
по запросу
Технические характеристики:
- Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
- Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
- Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
- Мультикатодное МРУ с тремя мишенями Ø 100мм;
- Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек или пластин;
- Нагреваемый ВЧ рабочий стол;
- Нанесение из трех мишеней одной пленки или последовательное
- нанесение двух-, трехслойных пленок с использованием заслонки;
- Безмасляная система откачки;
- Мощность потребления не более 16 кВт;
- Возможность встраивания в чистую комнату.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.