НИИТМ (входит в ГК «Элемент», MOEX:ELMT) уделяет большое внимание локализации комплектующих и узлов для нашего оборудования. Часть задач наше предприятие решает за счет собственных разработок и производства важных технологических узлов, что способствует снижению финансовых и временных затрат.
В этом году специалисты НИИТМ создали опытный образец высоковакуумного щелевого затвора для пластин диаметром до 200 мм. Этот узел служит для герметизации вакуумных камер, разделения вакуумных объемов и применяется в оборудовании для обработки полупроводниковых пластин.
Использование щелевого затвора собственного производства при создании установок и кластерных комплексов позволит снизить зависимость от иностранных поставщиков и обеспечит технологическую независимость.