Специалисты АО НИИТМ (входит в ГК «Элемент) ждут вас 15, 16 и 17 апреля 2025 года на 27-й Международной выставке электроники: компоненты и технологии, материалы и оборудование, встраиваемые системы и конечные решения на стенде № С3071, павильон 3, зал 15.
На нашем стенде будут представлены:
- Установка быстрого термического отжига БТО ТМ 200-01, предназначенная для обработки полупроводниковых пластин Ø 150 и 200 мм в инертной среде с целью отжига дефектов и активации примесей после ионного легирования.
- Макет кластерного комплекса плазмохимического травления для обработки кремниевых пластин диаметром 300 мм с возможностью изменения конфигурации для работы с пластинами 200 мм (проект разработки данного кластерного оборудования реализуется при поддержке Минпромторга России).
Специалисты НИИТМ будут рады ответить на ваши вопросы, рассказать о вакуумно-плазменных и физико-термических установках для реализации технологических процессов нано-, микро- и радиоэлектроники, медицины и солнечной энергетики.
Напоминаем, что для прохода на выставку необходимо получить бесплатный билет по промокоду ee25eMRRR на сайте выставки: https://expoelectronica.ru/ru/visit/visitor-registration
До встречи на выставке!
