В России спустя долгое время, благодаря консорциуму предприятий Зеленоградских АО НИИТМ и АО «НИИМЭ», входящих в ГК «Элемент», с участием ИЯФ СО РАН, создают серию установок ионной имплантации для микроэлектронной отрасли. Об этом CNews сообщили представители АО НИИТМ.
Планируемые к созданию установки предназначены для реализации технологии производства приборов МЭ с проектной нормой 90 нм, импортозамещения и замены отечественного оборудования прошлых лет. Ионные имплантеры смогут перекрывать диапазон энергий однозарядных ионов, требуемых в технологии масс (от бора до сурьмы) от 0,2 до 270 килоэлектронвольт (среднетоковая) и от 10 до 1 тыс. килоэлектронвольт (высокоэнергетическая).
На данный момент сотрудники АО НИИТМ с участием ИЯФ СО РАН разработали эскизный проект среднетокового имплантера и приступили к созданию экспериментального образца установки, а также начали разработку высоковольтного имплантера. Первые экспериментальные образцы установок планируют изготовить и испытать на соответствие требованиям технологии в 2025 – 2026 гг.
https://www.cnews.ru/news/line/2024-01-15_v_rossii_vpervye_za_mnogo
![В России впервые за много лет создадут ионный имплантер! В России впервые за много лет создадут ионный имплантер!](/upload/iblock/458/4divifus33ryjqwiergp9xhyd6dx1m3p.png)
Дополнительно
Дополнительная вкладка, для размещения информации о новостях, доставке или любого другого важного контента. Поможет вам ответить на интересующие покупателя вопросы и развеять его сомнения в покупке. Используйте её по своему усмотрению.
Вы можете убрать её или вернуть обратно, изменив одну галочку в настройках компонента. Очень удобно.