Установка предназначена для групповой обработки пластин диаметром до 100 мм.
Оборудование обеспечивает высокую производительность и равномерность распыления, а ее особенностями являются являются возможность послойного напыления двух различных материалов, а также наличие датчика, позволяющего определять толщину и скорость напыляемых пленок.
Программа управления установкой удобна и понятна, а также обеспечивает проведение процессов в полностью автоматическом режиме! Необходимо лишь задать параметры, которые можно сохранить в памяти программы и, при необходимости, провести их повторно.