Посетителей 12-го Российского Форума «Микроэлектроника» будут ждать не только насыщенная научная и деловая программы, но и выставочная зона, в рамках которой будут представлены более 160 компаний-экспонентов.
С 28 сентября по 2 октября 2026 года АО НИИТМ (ГК «Элемент», MOEX:ELMT) приглашает гостей выставки посетить стенд № 82, где они смогут увидеть новую разработку компании – SMIF-загрузчик, соответствующий стандартам SEMI. Загрузчики применяются в составе различных видов технологического оборудования для автоматизации загрузки-выгрузки пластин диаметром 200 мм с использованием SMIF-контейнера.
В составе экспозиции также будет представлен 3D-макет оборудования ионной имплантации, над которым специалисты компании работает в настоящий момент в кооперации с ИЯФ СО РАН и АО «НИИМЭ» (ГК «Элемент», MOEX:ELMT). Макет имплантера состоит из ионного инжектора и технологического модуля. В состав модуля входят: 4 SMIF-загрузчика и загрузочных шлюза, 1 транспортная и 1 процессная камеры.
Все дни работы выставки в рамках Форума специалисты НИИТМ будут ждать вас на стенде, чтобы подробнее рассказать о текущих разработках и линейках технологического оборудования компании, а также ответить на вопросы.