В НИИТМ, входящем в ГК «Элемент» (MOEX: ELMT), разработали компактную версию установки Эпиквар ТМ – Эпиквар ТМ Мини. Новая разработка также предназначена для изготовления эпитаксиальных структур и осаждения поликремния на пластины диаметром 76 и 100 мм и рассчитана на задачи мелкосерийного производства и проведение научных исследований.
Среди основных преимуществ Эпиквар ТМ Мини:
- уменьшенные габариты и масса установки;
- сниженное энергопотребление не более 80 кВт, что позволяет сократить себестоимость производства;
- более доступная стоимость по сравнению с Эпиквар ТМ.
Установка Эпиквар ТМ Мини позволяет обрабатывать одновременно 24 пластины диаметром 76 мм или 12 пластин диаметром 100 мм. Диапазон рабочих температур от 300 до 1250 ºС. Оборудование позволяет проводить технологический процесс как в автоматическом, так в ручном режиме.
Узнать о том, какую установку – Эпиквар ТМ или Эпиквар ТМ Мини – вам следует выбрать, можно, отправив ваше ТЗ на marketing@niitm.ru. Наши специалисты подберут для вас оптимальное решение и помогут определить конфигурацию оборудования с учётом ваших потребностей и задач.