НИИТМ (входит в Группу компаний «Элемент», MOEX:ELMT) изготовил и поставил заказчику установку эпитаксии из твёрдого источника Эписэнд ТМ.
Эписэнд ТМ входит в линейку оборудования выращивания эпитаксиальных структур ЭПИ ТМ и предназначен для нанесения сверхтолстых слоёв поликристаллического кремния методом «сэндвич»-эпитаксии. Установка обеспечивает индукционный ВЧ-нагрев до 1300 градусов Цельсия.
Преимущества:
- Высокое качество получаемых поликристаллических слоёв.
- Большая производительность за счет одновременной обработки до 4-х пластин диаметром 100 мм.
- Модернизированная двухпозиционная система загрузки на 2 лодочки (каждая с графитовой платформой).
- Усовершенствованный дизайн для повышения удобства эксплуатации и обслуживания установки.
- Экологичность и безопасность оборудования благодаря жидкостному скрубберу производства НИИТМ для нейтрализации отработанных продуктов и уменьшения вредных выбросов в атмосферу.
- Возможность встраивания в чистую комнату.
Подбор оборудования:
1. Отправьте ТЗ на почту marketing@niitm.ru.
2. Получите индивидуальное решение под задачи вашего производства или лаборатории.
