С 14 по 16 апреля 2026 года в Москве состоялась 28-я Международная выставка электроники ExpoElectronica. В работе выставки приняли участие 730 компаний, включая экспонентов из России, Беларуси и Китая. Общая площадь выставки составила более 35 000 кв.м. В рамках масштабной деловой программы мероприятия выступили 150 спикеров.
Специалисты компании встречали гостей на стенде и демонстрировали оборудование разработки и производства АО НИИТМ (ГК «Элемент», MOEX:ELMT):
• установку для проведения процессов химического осаждения SiO2/SiON/SiONGe из газовой фазы для обработки пластин Ø до 200 мм. Перечисленные диэлектрические слои выполняют роль электрической изоляции микросхем. Установка создаётся в рамках ОКР при поддержке Минпромторга России и демонстрируется широкой публике впервые.
• установку быстрого термического отжига предназначена для обработки полупроводниковых пластин Ø 150 и 200 мм в инертной среде с целью отжига дефектов и активации примесей после ионного легирования.
Также на стенде был представлен макет кластерного комплекса плазмохимического травления для обработки кремниевых пластин диаметром 300 мм с возможностью изменения конфигурации для работы с пластинами 200 мм. Этот проект НИИТМ завершил при поддержке Минпромторга России в кооперации с АО «НИИМЭ» в конце 2025 года.
15 апреля представители компании приняли участие в дискуссионной сессии «Отечественное электронное машиностроение: путь к технологическому лидерству и новые вызовы» на площадке «ЭЛЕКТРОНИКА АРЕНА». Руководители секции № 9 «Специальное технологическое оборудование» форума «Микроэлектроника» выступили модераторами сессии, на которой обсудили ключевые вопросы, связанные с развитием электронного машиностроения в России. С докладами выступили представители ФГУП «ЦРП», АО «ЗНТЦ», департамента станкостроения и тяжелого машиностроения Минпромторга России, АО «НТО» и АО НИИТМ.
Команда НИИТМ благодарит коллег и партнеров, всех посетителей нашего стенда и организаторов выставки за возможность стать частью масштабного мероприятия: продемонстрировать продукцию широкой аудитории, принять участие в насыщенной деловой программе и установить новые контакты с отраслевыми специалистами и потенциальными клиентами!
