Руководство департамента станкостроения и тяжелого машиностроения Минпромторга России посетили с рабочим визитом АО НИИТМ, входящее в Группу компаний «Элемент» (MOEX:ELMT), – ведущее российское предприятие по разработке и производству специального технологического оборудования для микроэлектронной отрасли и активного участника комплексной программы «Развитие электронного машиностроения до 2030 года».
В ходе визита директор департамента В.В. Пивень и его заместитель Ф.К. Дзодзикова ознакомились с производственными мощностями НИИТМ. Им продемонстрировали разработки в рамках опытно-конструкторских работ при поддержке Минпромторга России: оборудование для проведения процессов химического осаждения из газовой фазы (одна установка - для осаждения вольфрама, вторая - SiO2/SiON/SiONGe) и оборудование ионной имплантации. Работы проводятся в тесной кооперации с АО «НИИМЭ».
Генеральный директор АО НИИТМ также показал участникам делегации готовые установки быстрого термического отжига, магнетронного распыления и плазмохимического травления.
В ходе экскурсии по предприятию представители Минпромторга России в том числе посетили новый Центр проектирования НИИТМ, в котором работает семь ключевых подразделений компании, отвечающих за решение комплексных научных и производственных задач, связанных с проектированием и разработкой оборудования, комплектующих и узлов, а также созданием программного обеспечения.
В завершении визита Валерий Вячеславович и Фатима Константиновна отправились на технологическую площадку, где стоят первые в России кластерные установки плазмохимического травления и осаждения для обработки пластин 300 мм, созданные АО НИИТМ совместно с АО «НИИМЭ» при поддержке Минпромторга России.
Подводя итоги визита, В.В. Пивень и Ф.К. Дзодзикова поблагодарили представителей компании за проделанную работу, а также отметили готовность Минпромторга России прислушиваться к потребностям отрасли.
