Научно‑исследовательские институты НИИТМ и НИИМЭ (оба входят в Группу компаний «Элемент», MOEX:ELMT) начали разработку кластерного комплекса нанесения слоев алюминиевой металлизации методом вакуумного напыления. Оборудование позволит выпускать интегральные микросхемы по топологическим нормам 180÷90 нм на пластинах диаметром 200 мм. Кластерная установка создаётся в рамках опытно-конструкторской работы при поддержке Минпромторга России.
Разработка и изготовление кластерной установки магнетронного нанесения слоев алюминиевой металлизации является частью комплексной программы «Развитие электронного машиностроения до 2030 года».
Важной особенностью нового оборудования будет транспортная система, состоящая из двух транспортных модулей, разделённых буферной камерой. Такая конфигурация позволит разместить до восьми технологических модулей и два шлюза загрузки-выгрузки пластин. Часть модулей дублируется для того, чтобы иметь возможность не останавливать производственные процессы при технологическом обслуживании одного из модулей. Данное решение способствует увеличению времени непрерывной работы, что положительно сказывается на производительности и эффективности. Также модульная конструкция установки позволит произвести замену одного или нескольких модулей путем стыковки с транспортной системой. Это обеспечивает возможность изменения конфигурации оборудования или его модернизации для выполнения новых задач.
Это первая в России кластерная установка, которая будет состоять из восьми модулей: четырех модулей предварительной обработки пластин и четырех технологических модулей магнетронного нанесения. В состав кластерного комплекса будут также входить два робота-манипулятора.
Кластерная система обеспечит проведение процессов напыления плёнок алюминия, титана и нитрида титана. Данные слои необходимы для производства микросхем, в частности, для создания алюминиевой металлизации с барьерными и адгезионными слоями и жестких масок/антиотражающих покрытий для процесса фотолитографии. На сегодняшний день потенциальными потребителями оборудования являются микроэлектронные производства, обладающие технологической линейкой для выпуска микросхем на основе пластин диаметром 200 мм.
В ходе выполнения опытно-конструкторской работы специалистам НИИТМ предстоит разработать эскизный и технический проекты оборудования, изготовить макеты ключевых узлов кластерного комплекса, разработать проектную документацию и изготовить опытный образец установки, включая проведение предварительных испытаний с целью оценки соответствия оборудования параметрам, утверждённым в техническом задании.
Ученые и инженеры из НИИМЭ определят технические требования к функциональному исполнению технологического оборудования, разработают программы испытаний кластера, физическую структуру тестовых пластин и рецепты технологических операций для проведения испытаний, а также проведут весь комплекс технологических испытаний кластера.
Разработку кластерного комплекса для магнетронного нанесения слоев алюминиевой металлизации планируется завершить до конца сентября 2030 года.
«Создание отечественной кластерной установки для магнетронного нанесения слоев алюминиевой металлизации, отвечающей текущим стандартам индустрии, станет важной составляющей развития микроэлектроники в России. Разработка кластерного оборудования с восемью технологическими модулями – это новый вызов, который требует решения ряда комплексных научно-технических задач. Тем не менее, в НИИТМ уже сформирована команда высококвалифицированных специалистов и наработаны профессиональные компетенции по созданию кластерного оборудования, которые позволяют нам внести свой вклад в разработку перспективного и важного для отрасли оборудования», – отметил генеральный директор НИИТМ Михаил Бирюков.
«Мы продолжаем крайне важную работу по созданию отечественного электронного оборудования. В прошлом году мы завершили разработку и сборку первых в России кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ), заложив основу для развития отечественной производственной линейки. Теперь мы приступаем к разработке новой установки, которая будет работать с пластинами диаметра 200 мм, и, уверен, будет востребована предприятиями и в России, и за рубежом», - подчеркнул генеральный директор НИИМЭ Александр Кравцов.
Справка о компаниях
Группа компаний «Элемент» (MOEX:ELMT) – является лидером в производстве отечественных электронных компонентов. Продукция Группы используется в ключевых отраслях российской экономики, включая здравоохранение, энергетику, транспорт, нефтедобычу и газовую промышленность, авиастроение и судостроение, а также космическую отрасль. В Группу входят более 30 дизайн-центров и производственных площадок. Группа производит более 3000 типономиналов продукции. В мае 2024 года «Элемент» провел IPO. В январе 2026 года АФК «Система», которая владела 37,6% акций, полностью вышла из состава акционеров «Элемента», продав свою долю Сберу.
АО НИИТМ (АО «Научно-исследовательский институт точного машиностроения», входит в Группу компаний «Элемент», MOEX:ELMT) – ведущий разработчик и производитель широкого спектра промышленного и исследовательского технологического оборудования для микроэлектронной отрасли. Институт образован в 1962 году. Занимается созданием установок плазмохимического травления, осаждения из газовой фазы, физического нанесения, выращивания эпитаксиальных структур и газотермической обработки, а также кластерных комплексов на их основе для обработки пластин диаметром до 300 мм. Является активным участником Комплексных проектов и Государственных программ Минпромторга РФ. Входит в реестр организаций, осуществляющих деятельность в сфере радиоэлектронной промышленности.
АО «НИИМЭ» (АО «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники», входит в Группу компаний «Элемент», MOEX:ELMT) - ведущий научно-исследовательский центр по проведению фундаментальных и прикладных исследований в области микроэлектроники, разработке и производству полупроводниковых изделий. Основан в 1964 году. Выполняет опытно-конструкторские работы по программам Минпромторга, Минобрнауки, госкорпораций, а также ведет инициативные работы за счет собственных средств. Постановлением Правительства РФ определен организацией, ответственной за реализацию приоритетного направления «Электронные технологии». Резидент особой экономической зоны «Технополис Москва».