В АО НИИТМ разработана установка вакуумного нанесения металлических пленок методом электронно-лучевого испарения - ЭЛУ ТМ-3.

Установка предназначена для групповой обработки пластин диаметром до 100 мм. Оборудование обеспечивает высокую производительность и равномерность распыления, а ее особенностями являются планетарное вращение держателей пластин, а также наличие датчика, позволяющего определять толщину и скорость напыляемых пленок.

Управление установкой и настройка всех систем и узлов удобны и понятны, но самое главное –
ЭЛУ ТМ-3 проводит процессы полностью в автоматическом режиме! Необходимо лишь задать параметры, которые можно сохранить в памяти программы и, при необходимости, провести их повторно.