+7(495)229-75-01
+7(495)229-75-01Приемная
+7(499)735-13-69Отдел маркетинга
+7(495)229-75-14Отдел закупок
Свяжитесь с нами
E-mail
info@niitm.ru
marketing@niitm.ru
Адрес
г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
Режим работы
Пн - Чт: 08:30 - 17:30
Пт: 08:30 - 16:15
Свяжитесь с нами
О компании
  • История развития
  • Карьера
  • Реквизиты
Новости
Оборудование
  • Классификация оборудования
    • Плазмохимическое травление – ПХТ
    • Плазмохимическое осаждение – ПХО
    • Физическое нанесение (PVD)
    • Выращивание эпитаксиальных структур
    • Термическая обработка
    • Прецизионная очистка
  • Кластерное оборудование
    • PVD
    • ПХО
    • ПХТ
  • Новые разработки
  • Поиск по каталогу
Технологии
Контакты
г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
+7(495)229-75-01
+7(495)229-75-01Приемная
+7(499)735-13-69Отдел маркетинга
+7(495)229-75-14Отдел закупок
Свяжитесь с нами
E-mail
info@niitm.ru
marketing@niitm.ru
Адрес
г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
Режим работы
Пн - Чт: 08:30 - 17:30
Пт: 08:30 - 16:15
О компании
  • История развития
  • Карьера
  • Реквизиты
Новости
Оборудование
  • Классификация оборудования
    Классификация оборудования
    • Плазмохимическое травление – ПХТ
    • Плазмохимическое осаждение – ПХО
    • Физическое нанесение (PVD)
    • Выращивание эпитаксиальных структур
    • Термическая обработка
    • Прецизионная очистка
  • Кластерное оборудование
    Кластерное оборудование
    • PVD
    • ПХО
    • ПХТ
  • Новые разработки
    Новые разработки
  • Поиск по каталогу
    Поиск по каталогу
Технологии
Контакты
    О компании
    • История развития
    • Карьера
    • Реквизиты
    Новости
    Оборудование
    • Классификация оборудования
      Классификация оборудования
      • Плазмохимическое травление – ПХТ
      • Плазмохимическое осаждение – ПХО
      • Физическое нанесение (PVD)
      • Выращивание эпитаксиальных структур
      • Термическая обработка
      • Прецизионная очистка
    • Кластерное оборудование
      Кластерное оборудование
      • PVD
      • ПХО
      • ПХТ
    • Новые разработки
      Новые разработки
    • Поиск по каталогу
      Поиск по каталогу
    Технологии
    Контакты
      +7(495)229-75-01Приемная
      +7(499)735-13-69Отдел маркетинга
      +7(495)229-75-14Отдел закупок
      Свяжитесь с нами
      E-mail
      info@niitm.ru
      marketing@niitm.ru
      Адрес
      г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
      Режим работы
      Пн - Чт: 08:30 - 17:30
      Пт: 08:30 - 16:15
      Телефоны
      +7(495)229-75-01 Приемная
      +7(499)735-13-69 Отдел маркетинга
      +7(495)229-75-14 Отдел закупок
      Заказать звонок
      • О компании
        • О компании
        • История развития
        • Карьера
        • Реквизиты
      • Новости
      • Оборудование
        • Оборудование
        • Классификация оборудования
          • Классификация оборудования
          • Плазмохимическое травление – ПХТ
          • Плазмохимическое осаждение – ПХО
          • Физическое нанесение (PVD)
          • Выращивание эпитаксиальных структур
          • Термическая обработка
          • Прецизионная очистка
        • Кластерное оборудование
          • Кластерное оборудование
          • PVD
          • ПХО
          • ПХТ
        • Новые разработки
        • Поиск по каталогу
      • Технологии
      • Контакты
      Подать заявку
      • +7(495)229-75-01 Приемная
        • Телефоны
        • +7(495)229-75-01 Приемная
        • +7(499)735-13-69 Отдел маркетинга
        • +7(495)229-75-14 Отдел закупок
        • Заказать звонок
      • г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
      • info@niitm.ru
        marketing@niitm.ru
      • Пн - Чт: 08:30 - 17:30
        Пт: 08:30 - 16:15
      Новости о разработках
      Разработана и поставлена кластерная установка магнетронного нанесения металлов с индивидуальной обработкой пластин диаметром 150-200 мм по принципу «из-кассеты-в-кассету» с четырьмя технологическими модулями магнетронного распыления с возможностью ВЧ смещения пластин и формирования заданного магнитного поля с использованием двух внешних электромагнитных катушек.

      Кластерная установка Кластер ТМ 150 предназначена для конформного нанесения в едином вакуумном цикле многослойных металлических пленок на высокоаспектные структуры, в том числе нанесения адгезионного, барьерного и медного слоев (TaN-Ta-Cu, Ti-TiN-Cu) при формировании медной разводки и сквозных контактов через кремниевые пластины (Through Silicon Via - TSV).

      Кластерная система имеет многоуровневую компьютерную систему управления транспортом и технологическими модулями по заданной технологической программе с использованием собственного программного обеспечения, включая возможность управления процессами в “on line” режиме.
      Читать далее
      АО НИИТМ традиционно примет участие в Форуме
      «Микроэлектроника 2023»
      Участники Форума в 2023 году обсудят вопросы содействия интеграции российских производителей в проекты по обеспечению ускоренного цифрового развития. Данное событие является знаковым и долгожданным как для микроэлектронной отрасли, так и для всего научного сообщества. Посещение Форума специалистами различных отраслей промышленности позволит установить полноценный диалог между разработчиками электронной компонентной базы и производителями готовой продукции, что напрямую способствует активному развитию цифровой экономики.
      Организаторы форума – АО «НИИМЭ» и АО «НИИМА «Прогресс» при поддержке Министерства промышленности и торговли Российской Федерации, Министерства науки и высшего образования Российской Федерации.
      Ссылка на регистрацию
      Направления деятельности
      В настоящее время НИИТМ является лидером среди отечественных предприятий-разработчиков специального технологического оборудования для микроэлектронной отрасли.
      Ключевым вектором работы является производство серии оборудования под обработку пластин 200 мм, совместимой с диаметрами 100 и 150 мм с возможностью объединения технологических модулей в кластерный комплекс.
      Специализация компании:
      • Поставка и адаптация оборудования под технологические задачи Заказчика.
      • Разработка новых видов СТО по техническому заданию.
      • Комплексная поставка специального технологического оборудования для формирования полноценных производственных линий с использованием инжинирингового потенциала АО НИИТМ.
      • Проведение НИОКР по разработке инновационного и перспективного технологического оборудования совместно с научными и производственными предприятиями.
      • Проведение НИОКР по развитию новых и перспективных направлений с привлечением широкого спектра контрагентов в части поставки оборудования и отработки БТП.
      Продуктовая линейка соответствует стандартам SEMI.
      Читать далее
      Поставка и адаптация оборудования под задачи Заказчика
      Разработка новых видов СТО по техническому заданию
      Формирование полноценных производственных линий с использованием инжинирингового потенциала
      Проведение НИОКР по разработке инновационного и перспективного технологического оборудования

      О компании

      Научно-исследовательский институт точного машиностроения (АО НИИТМ) – это старейшая отечественная школа производства и разработки СТО, которая совмещает в себе не только большие производственные мощности, но и центр передачи знаний между поколениями учёных и специалистов.

      Благодаря большому опыту и быстрой адаптации к современному рынку – мы предлагаем Заказчикам качественные услуги разработки, производства и испытаний современного вакуумно-плазменного и физико-термического оборудования для микроэлектронной отрасли.

      Сегодня НИИТМ - это единственное в России предприятие, которое занимается разработкой кластерных комплексов и производством установок под обработку пластин 300мм.

      Ключевым вектором работы является серия оборудования под обработку пластин 200 мм, совместимой с диаметрами 100 и 150 мм. Продуктовая линейка соответствует стандартам SEMI.

      АО НИИТМ является одним из ведущих производителей специального технологического оборудования (СТО) в России.

      История развития
      Оборудование
      Плазмохимическое травление
      Оборудование
      Плазмохимическое осаждение
      Оборудование
      Выращивание эпитаксиальных структур
      Оборудование
      Термическая обработка
      Оборудование
      Прецизионная очистка
      Оборудование
      Физическое нанесение
      Новости

      События компании

      Все новости
      Рассказываем о событиях, связанных с нашей отраслью и успехами компании. Не стоим на месте: внедряем новые технологии и расширяем номенклатуру производимого оборудования. Читайте новости компании: будьте в курсе значимых для нас событий.
      2 августа 2023
      Добро пожаловать на новый сайт АО НИИТМ!
      18 июля 2023
      Видеорепортаж: Министр промышленности и торговли Российской Федерации в АО НИИТМ
      18 июля 2023
      Денис Мантуров посетил АО НИИТМ
      Комплексное проектирование
      АО НИИТМ обладает большой научно-технической и технологической базой в разработке и проектировании оборудования для плазмохимического травления и для плазмохимического осаждения, оборудования для физического осаждения тонких пленок, термического оборудования, а также оборудования для эпитаксиального роста пластин и кластерных систем.

      Сегодня разработки НИИТМ участвуют в формировании технологических процессов и обеспечивают необходимое качество электронной компонентной базы.
      Технологии
      Контакты

      Оставьте заявку

      Обсудим задачи, найдем оптимальное решение и запланируем работы. Ответим на вопросы и расскажем подробнее о нашем оборудовании.
      Будем на связи: +7 (499) 735-13-69 - Отдел маркетинга
      Компания
      История развития
      Карьера
      Реквизиты
      Оборудование
      Классификация оборудования
      Кластерное оборудование
      Новые разработки
      Поиск по каталогу
      Контакты
      Горячая линия ГК «Элемент»
      Информация о правообладателе
      +7(495)229-75-01
      +7(495)229-75-01Приемная
      +7(499)735-13-69Отдел маркетинга
      +7(495)229-75-14Отдел закупок
      Свяжитесь с нами
      E-mail
      info@niitm.ru
      marketing@niitm.ru
      Адрес
      г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
      Режим работы
      Пн - Чт: 08:30 - 17:30
      Пт: 08:30 - 16:15
      info@niitm.ru
      marketing@niitm.ru
      г. Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
      © 2023 niitm.ru
      Политика конфиденциальности