Разработана и поставлена кластерная установка магнетронного нанесения металлов с индивидуальной обработкой пластин диаметром 150-200 мм по принципу «из-кассеты-в-кассету» с четырьмя технологическими модулями магнетронного распыления с возможностью ВЧ смещения пластин и формирования заданного магнитного поля с использованием двух внешних электромагнитных катушек.

Кластерная установка Кластер ТМ 150 предназначена для конформного нанесения в едином вакуумном цикле многослойных металлических пленок на высокоаспектные структуры, в том числе нанесения адгезионного, барьерного и медного слоев (TaN-Ta-Cu, Ti-TiN-Cu) при формировании медной разводки и сквозных контактов через кремниевые пластины (Through Silicon Via - TSV).

Кластерная система имеет многоуровневую компьютерную систему управления транспортом и технологическими модулями по заданной технологической программе с использованием собственного программного обеспечения, включая возможность управления процессами в “on line” режиме.

В настоящее время НИИТМ является лидером среди отечественных предприятий-разработчиков специального технологического оборудования для микроэлектронной отрасли.
Ключевым вектором работы является производство серии оборудования под обработку пластин 200 мм, совместимой с диаметрами 100 и 150 мм с возможностью объединения технологических модулей в кластерный комплекс.
Специализация компании:

• Поставка и адаптация оборудования под технологические задачи Заказчика.
• Разработка новых видов СТО по техническому заданию.
• Комплексная поставка специального технологического оборудования для формирования полноценных производственных линий с использованием инжинирингового потенциала АО НИИТМ.
• Проведение НИОКР по разработке инновационного и перспективного технологического оборудования совместно с научными и производственными предприятиями.
• Проведение НИОКР по развитию новых и перспективных направлений с привлечением широкого спектра контрагентов в части поставки оборудования и отработки БТП.

Продуктовая линейка соответствует стандартам SEMI.