Фильтр
По популярности (убывание)
По популярности (убывание)
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Поиск по каталогу/Термическая обработка
В наличии
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Поиск по каталогу/Плазмохимическое осаждение – ПХО
В наличии
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
В наличии
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
В наличии
Нестандартное оборудование
Да
Поиск по каталогу/Прецизионная очистка
В наличии
Диаметр пластин
До 100мм
Тип загрузки пластин
Ручная
Поиск по каталогу/Выращивание эпитаксиальных структур
В наличии
Диаметр пластин
До 100мм
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
Ручная
Поиск по каталогу/Термическая обработка
В наличии
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Поиск по каталогу/Плазмохимическое осаждение – ПХО
В наличии
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Поиск по каталогу/Плазмохимическое травление – ПХТ
В наличии
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Тип загрузки пластин
Из кассеты в кассету
Поиск по каталогу/Физическое нанесение (PVD)
В наличии