Фильтр
По популярности (убывание)
По популярности (убывание)
Диаметр пластин
300мм
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
FOUR контейнер
Плазмохимическое осаждение – ПХО/Поиск по каталогу
В наличии
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Плазмохимическое осаждение – ПХО/Поиск по каталогу
В наличии
Диаметр пластин
До 100мм, 150мм, 200мм
Возможность быть в составе кластера
Да
Возможность встраивания в чистую комнату
Да
Тип загрузки пластин
SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая
Плазмохимическое осаждение – ПХО/Поиск по каталогу
В наличии