Глубокое плазмохимическое анизотропное травление кремния в производстве МЭМС, НЭМС, сборок 2,5D и 3D, а также сквозных высокоаспектных отверстий и др. на базе Bosch-процесса.
Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек или пластин;
Транспортная система переноса носителя из шлюзовой камеры в реактор на основе манипулятора;
Нагрев стенок реактора до 60°С;
Гелиевое охлаждение и механический прижим пластин;
Рабочие газы: He, SF6, C4F8, O2, Ar и другие;
Скорость анизотропного травления кремния не менее 0,5-1 мкм/мин;
Мощность потребления не более 19 кВт;
Безмасляная система откачки;
Возможность встраивания в чистую комнату.
1. Нажмите кнопку «Свяжитесь с нами». При оформлении заказа заполнить форму. Вписать информацию в поля: ФИО, телефон и e-mail. В поле «Сообщение» можно ввести дополнительно более подробные технические характеристики оборудования. В ближайшее время с Вами свяжется отдел продаж, чтобы уточнить детали заказа.
2. Направить запрос на почту marketing@niitm.ru. Для отправки коммерческого предложения необходимо направить техническое задание в любом удобном формате.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.