ИЗОФАЗ ТМ 200-01

Связаться с нами

Возможны дополнительные опции

Атомно-слоевое осаждение сверхтонких пленок.

Подробности

Характеристики

Диаметр пластин

—

До 100мм, 150мм, 200мм

Возможность быть в составе кластера

—

Да

Возможность встраивания в чистую комнату

—

Да

Тип загрузки пластин

—

SMIF контейнер, Из кассеты в кассету, Шлюзовая

Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах

Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки подложек или пластин;
Осаждение в термическом режиме с удаленным ICP источником плазмы;
Порты для подключения ампул с прекурсором:
с высоким давлением насыщенных паров - 2шт.;
с низким давлением насыщенных паров - 2шт.(опционально до 4 шт.);
Мощность потребления не более 14 кВт;
Безмасляная система откачки;
Возможность встраивания в чистую комнату.

Гарантийное и постгарантийное обслуживание;

Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.