ПЛАЗМА ТМ 7
Травление диэлектрических слоев и полупроводниковых материалов методом реактивно-ионного травления.
Характеристики
Диаметр пластин
—
До 100мм, 150мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Из кассеты в кассету
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
ПЛАЗМА ТМ 7
Технические характеристики:
- Индивидуальная обработка пластин Ø76, 100 или 150 мм на рабочем столе в одном технологическом цикле;
- Шлюзовая камера для загрузки – выгрузки пластин из кассеты в кассету;
- Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
- Рабочие газы: He, SF6, C3F8, O2, Ar, CF4, CHF3 и другие;
- Регулирование и автоматическое поддержание мощности
- ВЧ рабочего стола в диапазоне 50-400 Вт;
- Мощность потребления не более 6,5 кВт;
- Возможность встраивания в чистую комнату.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.