ОКСИД ТМ 1
Автоматизированная термическая обработка пластин и материалов в газовой среде (оксидирование, отжиг, сушка, разгонка
диффузанта, восстановление кристаллических структур) при нормальном давлении.
Характеристики
Диаметр пластин
—
До 100мм
Возможность встраивания в чистую комнату
—
Да
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
ОКСИД ТМ 1
Технические характеристики:
- Групповая обработка 120 пластин до Ø 100 мм;
- Кварцевый реактор с термостатируемой рабочей зоной;
- Диапазон рабочих температур 300-1100°С;
- Рабочие газы: N₂, O₂, H₂, HСl;
- Микропроцессорная система управления;
- Мощность потребления не более 15 кВт;
- Возможность встраивания в чистую комнату.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.