ЭПИСЕНД ТМ
Осаждение сверхтолстых поликристаллических слоев кремния из твердого источника на монокристаллические подложки кремния или сапфира.
Характеристики
Диаметр пластин
—
До 100мм
Тип загрузки пластин
—
Ручная
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
ЭПИСЕНД ТМ
Технические характеристики:
- Кварцевый реактор цилиндрического типа с индукционно-радиационным нагревом пластин;
- Ручная загрузка/выгрузка пластин;
- Графитовый держатель под 3 пластины Ø100 мм;
- Нагрев до 1200°С;
- Микропроцессорная система управления;
- Преобразователь частоты для питания индуктора мощностью до 60 кВт и рабочей частотой 22 кГц;
- Жидкостной скруббер для нейтрализации отработанных продуктов;
- Рабочие газы: H₂, N₂, HСl;
- Мощность потребления не более 60 кВт.
1. Нажмите кнопку «Свяжитесь с нами». При оформлении заказа заполнить форму. Вписать информацию в поля: ФИО, телефон и e-mail. В поле «Сообщение» можно ввести дополнительно более подробные технические характеристики оборудования. В ближайшее время с Вами свяжется отдел продаж, чтобы уточнить детали заказа.
2. Направить запрос на почту marketing@niitm.ru. Для отправки коммерческого предложения необходимо направить техническое задание в любом удобном формате.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.