Нанесение магнетронным распылением алюминиевой (Al) металлизации, формирование адгезионных, барьерных (Ta/TaN, Ti/TiN) и зародышевых медных (Cu)слоев для перемычек в контактных и переходных отверстиях межслойных соединений и др.
Технические характеристики:
- Обработка пластин на рабочем столе: Ø 76, 100, 150, 200мм;
- Транспортная система переноса пластин на основе манипулятора;
- Различные варианты исполнения системы загрузки: шлюзовая, из кассеты в кассету, SMIF контейнер;
- ВЧ рабочий стол с вертикальным перемещением, поддержкой температуры в диапазоне -20…+250°C, подачей аргона под пластину и прижимом;
- Магнетронное распылительное устройство с вращающимся магнитным блоком;
- Предусмотрен режим нанесения пленок из мишени Ø 300мм в импульсном режиме при мощности до 20 кВт для заполнения глубоких канавок и щелей в изделиях;
- Механическая заслонка для защиты рабочей поверхности пластины;
- Система прогрева стенок рабочей камеры до +120°С;
- Сменные экраны для предотвращения запыления рабочей камеры;
- Скорость нанесения Сu, не менее 5 нм/с, TiN, не менее 2 нм/с;
- Возможность встраивания в чистую комнату.
1. Нажмите кнопку «Свяжитесь с нами». При оформлении заказа заполнить форму. Вписать информацию в поля: ФИО, телефон и e-mail. В поле «Сообщение» можно ввести дополнительно более подробные технические характеристики оборудования. В ближайшее время с Вами свяжется отдел продаж, чтобы уточнить детали заказа.
2. Направить запрос на почту marketing@niitm.ru. Для отправки коммерческого предложения необходимо направить техническое задание в любом удобном формате.
Гарантийное и постгарантийное обслуживание;
Возможность модернизации и переналадки оборудования под запросы заказчика.